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直流真空泵流量：(也叫抽氣速率)指在真空泵的吸氣口處，單位時間內流過的氣體體積。 常用單位是：L/Min（升/分鐘）。“流量”參數如無特別說明，特指在20℃、標準大氣壓下的“峰值流量”。
真空度指標是各國生產商努力追求的主要指標，它反應了相應的機械加工、密封技術、材料科學等領域的整體實力。要提高真空度指標，就必須有更高的密封條件，因此就需要采用尺寸更精確、材料性能更優異的零部件，于是生產成本就大幅度提高了。而且價格的增幅遠遠大于真空度指標的增幅。
當然，抽氣速率的提高也會引起價格的攀升，但其增幅不大。因此，選擇微型真空泵、微型氣體采樣泵、微型氣體循環泵、微型抽氣泵、微型抽氣打氣泵等多種微型泵時，需要認真考慮真空度指標、抽氣速率指標、自己的使用情況等，這樣才能最好地兼顧使用性能和成本。
高真空度的微型泵由于采用了非常精密的密封零件，因此它對工作環境的清潔條件、溫度參數、介質成分等均有更高的要求。例如有一種高真空度的微型真空泵VCH1028,它的真空度可以到10KPa(0.01MPa絕對壓力)，可以大致理解成能將一個密閉容器內的氣體抽走90%，只剩下10%，在微型真空泵里就算很高的了，即使跟國外同類型的微型真空泵比也相差無幾。
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