渦輪分子泵是靠高速轉動的轉子挽帶氣體分子獲得超高真空的一種機械真空泵。工作壓力范圍為1Pa--10-8Pa，抽氣速率一般在
5000L/s以下。先進的泵可以獲得10-9Pa的極限壓力，泵的轉速為10000r/min--50000r/min，這種泵的抽速范圍很寬，在九個數
f級間具有恒定的抽速。分子泵主要用作超高真空泵和高真空泵，但它不能直接對大氣排氣，需要配置前級泵，并且其主要性能(如
極限壓力和抽速)都和配置的前級泵的容率、轉數，被抽氣體的種類有關。分子泵對較輕的氣休抽速較大，對組的抽速比對空氣的抽
速大20%,我國在禍輪分子泵的研究和生產方面進展很快。在20世紀60年代研制成功的臥式渦輪分子泵的基礎上，很快發展了銑制和
扭制葉片的兩種立式渦輪分子泵系列產品。抽速范圍為11OL/s,150L/s,45OL/s,55OL/s,60OL/s,120OL/s,1500L/s和3500L/s等多
種規格。我國制定了立式渦輪分子泵行業標準(JB/T 9125-95 )和渦輪分子泵性能側試方法國家標準
(GB7774-87 )，并將磁懸式軸承用于渦輪分子泵中。
近10年來，由于軸承和高速旋轉以及數控加工技術的不斷發展，使國際上渦輪分子泵的研制取得了長足的進步，抽速從50L/s已發展
到25000L/s(日本)甚至達40000L/s(俄羅斯)。在以機械運動的各類真空泵中分子泵是一種結構精密、工藝要求高的泵。泵的動、靜
葉片的幾何形狀與抽速有很大關系，需要特殊的工藝加工來保證葉片的尺寸和精度。同時要求轉子有很好的動平衡，動葉片應具有
高強度以承受高速轉動產生的離心力，保證泵的運轉可靠。
分子泵由里于泵體內的中頻電機直接驅動，渦輪轉子為整體式結構;該泵對大分子量的氣體有較高的壓縮比，且中頻電機置于前級空
間，能獲得清沽的高真空和超高真空;它的性能特點是:結構緊湊，工作壓力范圍寬，在10-1Pa-10-7Pa范圍內具有穩定的抽速;工作
平穩，由于采用了精密軸承，嚴格的動平衡工藝和一系列的減振措施，因而泵的振動小、噪聲低、啟動時間短，一般在4min-
15min內能達到滿抽速;標準化的法蘭連接尺寸，垂直結構，使其便于與真空系統連接。
隨著渦輪分子泵的結構不斷改善，用途越來越廣。在某些應用領域已有代替油擴散泵的傾向。它適用于在要求清潔的高真空和超高
真空的儀器設備上使用，如高能加速器、核聚變反應裝置、宇航模擬、真空鍍膜、真空冶煉、半導體提純、大型電子管排氣等。
目前磁懸浮式渦輪分子泵已達到實用化程度，使渦輪分子泵向高流量、高出口壓力方向發展。這樣分子泵不僅在極高和超高真空范
圍內應用，還可用于高真空和中真空范圍。現已成為獲得清潔真空的主要設備(如干式分子泵的出現)，應用領域在不斷擴大。
|
