一、擴散泵系列真空機組概述：
擴散泵系列真空機組以羅茨旋片機組作為預(yù)抽，擴散泵主體及擋板均有改進(jìn)，使得在較低真空領(lǐng)域抽速有較大成度增加。它以油擴散泵為主泵和閥門、水冷擋板、管道、機械真空泵（前級泵）等組成高真空抽氣系統(tǒng)，可獲得（10-2—10-4Pa）的工作真空度。擴散泵系列真空機組可作為真空冶煉、真空燒結(jié)、真空熱處理、真空鍍膜、真空釬焊、真空浸漬、太空模擬試驗裝置等高科技設(shè)備的高真空獲得裝置，以及其它需要在10-1 --10-4帕的低氣壓(高真空)環(huán)境下工作的真空系統(tǒng)的配套設(shè)備。
擴散泵系列真空機組的特點是抽氣能力大，抽速從190L/S至49000L/S范圍內(nèi)可供選擇；并可長時間穩(wěn)定連續(xù)工作。擴散泵系列真空機組被廣泛地應(yīng)用在電子、化工、冶金、航空、航天、材料、生物醫(yī)藥、原子能、宇宙探測等高科技領(lǐng)域。如各種真空爐、真空鍍膜設(shè)備、真空冷凍干燥設(shè)備等。典型真空機組是用氣動閥門程序控制。如需其他驅(qū)動方法，請在訂貨時注明。 |
