真空漏率測量的辦法是以示漏物質(zhì)夜蓋被橙容器的整個可疑區(qū)(或者被檢容器內(nèi)充人示漏物質(zhì))，另一側(cè)抽真空(或是大氣);或是在被檢容器的內(nèi)外兩側(cè)形成壓差(或示漏物質(zhì)的濃度差)，在低壓(或低濃度)側(cè)側(cè)2示漏物質(zhì)的漏率
和濃度變化。
(1)加壓條件下容器漏率的測定
在加壓條件下測童容器漏率的方法有:氣泡法、超聲法、氣敏半導(dǎo)體檢漏儀法、氨檢漏法、鹵素檢漏儀法、氮質(zhì)譜檢漏儀法等。
(2)真空條件下容器漏率的測定
①利用接人真空容器的真空規(guī)、離子泵及殘氣分析質(zhì)譜計來測定容器的漏率。
②可以選用流盆測量、壓力測量、鹵素檢漏儀以及氮質(zhì)譜檢漏儀等方法來測全漏率。
(3)密封件的無損檢漏
①盡量利用密封件上可用來指示密封器件內(nèi)部壓力和示漏物質(zhì)分壓力的規(guī)管和殘氣分析質(zhì)譜計等進行檢漏。
②有些原來不是測量壓力的裝置，如:電子管、顯像管等，若改換饋電方式，將其電極接成電離規(guī)的方式，測全出管內(nèi)離子流的變化，便可知管內(nèi)壓力的變化率。大批量生產(chǎn)這類器件時，可以通過校準的方法把離子流的變化率直接換算成漏率。
③如果密封件內(nèi)部具有可作為示漏的物質(zhì)時，采用動態(tài)法或靜態(tài)法對漏到外面的示漏物質(zhì)進行檢測，就可測出漏孔來。通常這類密封件內(nèi)部的示漏氣體的分壓力要比采用背壓法時的壓力為高。因此，檢漏靈敏度高，費用低。
④背壓法檢漏適用于成批生產(chǎn)小型密封件時的檢漏;可以使用鹵素檢漏儀，氮質(zhì)譜檢漏儀，放射性同位素等檢漏方法和儀器。 |
