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修泵時所拆下的每一個零部件均應檢查它的精度和光潔度。對它們的配合公差亦應仔細測量，并作好記錄，寫入該泵檔案卡片，因為零件間的幾何精度直接影響泵的性能，這是修理的主要依據。多年實踐說明，油封機械真空泵裝配間隙大了，就會使轉子下沉，增大了切點間隙。有時新泵偏心度E過小，后果同樣是造成轉子下沉。此時可將主軸銅套改成偏心
銅套來調正轉子和定子的偏心度E，以解決上切點間隙過大的問題。當裝配間隙過小時，泵運轉中則容易磨損甚至發生“卡死”，從而研磨壞泵腔及其他零部偉對長期使用的機械泵拆修時量出它的配合間隙如過大，多因旋片、轉子與端蓋板以及與泵腔之間相互磨損和劃痕造成的。若泵運轉時的溫升過高，則多因配合間隙過小所致。這些情況均是我們所不希望發生的。間隙尺寸測量主要就是指檢查泵腔、轉子、旋片與端蓋板平面之間的配合間隙是否在精度要求的范圍之內。一般地說，機械真空泵的配合精度定為二級，其間隙多在0.02-0.10
mm，小泵趨小值，大泵趨大低例如，根據經驗，2X-8型規格以內的油封旋片式機械泵真空室雙面間隙均可取0.02mm，即轉子長度比旋片短2絲，旋片比泵腔長度小2絲。當然嚴格地講，高真空室比低真空室的雙面間隙要小。轉子切點間隙更小些在實際刮研中，仍會有誤差，但應盡可能使實際修出的間隙公差在所取間隙值的最小值范圍內。